Product Main

Specifications

The pattern spec of  Our PSS is Diameter: 2.4 ± 0.2 µm;   spacing: 0.6 ± 0.2 µm;   depth: 1.5 ± 0.2 µm.
Crystal materials: 99, 996% of Al2O3, High Purity, Monocrystalline
 
Crystal quality: Block marks, twins, Color, micro-bubbles and dispersal centers are non-existent 
 
Diameter: 50.8±0.1mm
 
Thickness:  430±15um
 
Orientation: C-plane, M-plane, A-plane, R-plane, C-plane off M-plane, C-plane off A-plane
 
Primary flat length: 16.0±1.0mm
 
patterned spec. will be given to you in the quotation
  
Front Surface: Epi-polished, Ra< 0.2nm (By AFM)
 
Back Surface: Fine ground (Ra=0.8 to 1.2 um) or Epi-polished (Ra< 0.2 nm)
 
Cleaning/packaging: Class 100 clean room cleaning, vacuum packaging; 25 pieces in one cassette or single packaging.