Diameter: 2 inch, 3 inch, 4 inch, 5 inch - 7 inch

                   In accordance with the provisions of standard production

Thickness: 500±15 µm, 660±15 µm, 710±15 µm, 790±15µm, 1000±20µm

Orientation: X-Axis   Y-Axis   Z-Axis ±0.1°

                     Y-axis 128° Rotated, Y-axis 64°Rotated, Y-axis 41°Rotated 

The first reference to the Orientation:  ±0.2°

The first reference to the length: 16.0±0.8 mm, 22.0±1.0 mm, 32.5±1.5 mm 

In accordance with the provisions of standard production

 

The second reference length: 10?2 mm, 12?2 mm

TTV   ≤10 µm   ≤15 µm   ≤20 µm   ≤30 µm

BOW ≤10 µm   ≤15 µm   ≤20 µm   ≤30 µm

Front Surface: 10/5

Back Surface: Fine ground (#240/#180);   Polished (10/5)

Chamfer: < 0.3 mm, 45°±5°