Diameter: 2 inch , 3 inch , 4 inch , 5 inch - 7 inch

               In accordance with the provisions of standard production

Thickness: 500±15 µm, 1000±20 µm

Orientation: X-Axis   Y-Axis   Z-Axis ± 0.1°

                 Y-axis 36° Rotated, Y-axis 42° Rotated

TTV   ≤10 µm   ≤15 µm   ≤20 µm   ≤30 µm

BOW ≤10 µm   ≤15 µm   ≤20 µm   ≤30 µm

Front Surface: 10/5

Back Surface: Fine ground (#240/#180);   Polished (10/5)

Chamfer: < 0.3 mm, 45°±5°